ASML 取得用於在 EUV 光源中減少來自源材料的污染的裝置和方法專利
金融界 2024 年 11 月 6 日消息，國家知識產權局信息顯示，ASML 荷蘭有限公司取得一項名爲“用於在 EUV 光源中減少來自源材料的污染的裝置和方法”的專利，授權公告號 CN 113039868 B，申請日期爲 2019 年 10 月 。
本文源自：金融界
作者：情報員
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