《產業》應材產學合作 強化MIT.nano先進研究能力

應材指出,這項合作將在美國建立獨特的開放使用場域,採用與晶圓廠相同的量產設備,支援工業等級規模研發,以加速推進矽及化合物半導體、功率電子、光學運算、類比裝置及其他關鍵技術發展。

位於MIT校園中心的MIT.nano設施佔地約5620坪,設有高潔淨(class-100)無塵室,採開放使用模式,機臺組合和實驗室不僅供校園使用,其他學術機構、非營利組織、政府、跨國企業到當地新創公司研究人員均可運用從事早期研發,新設施預計2025年初投入使用。

應材將在MIT.nano提供多種先進製程工具,可支援4.5吋和8吋晶圓,並升級MIT現有工具設備。除了協助MIT.nano的設備日常操作及維護外,應材工程師也將開發新制程能力,對MIT及其他地區的研究人員和學生皆有莫大助益。

應材表示,提供的設備、相關經費及實物支援將大幅提升MIT.nano 8吋晶圓製造能力。8吋晶圓市場應用廣泛,包括消費電子、汽車、工業自動化、潔淨能源等,可望縮減從學術實驗到商業化的落差,有助橋接早期創新與產業市場路徑。

作爲與MIT.nano合作計劃的一部分,應材將加入由全球不同產業的12家企業共同組成的MIT.nano聯盟。在技術人員貢獻下,應材將有機會與MIT各知識中心合作,包括繼續成爲微系統技術實驗室(MTL)成員。

而麻州技術合作組織(MassTech)管理的NEMC中心,將撥款770萬美元用於安裝相關機臺。NEMC爲美國國防部選擇的全美8個微電子共享中心之一,並依據晶片法案給予補助,加速推動關鍵技術商業化應用、帶動就業及育才機會,並投資當地先進製造和技術部門。