科磊股份有限公司申請透射小角度X射線散射計量系統專利，實現適合用於具有減小的光學路徑長度的半導體結構的計量的Q空間分辨率

金融界2024年10月31日消息，國家知識產權局信息顯示，科磊股份有限公司申請一項名爲“透射小角度X射線散射計量系統”的專利，公開號CN 118837389 A，申請日期爲2018年4月。

專利摘要顯示，本文中描述用於通過具有相對小工具佔用面積的透射小角度x射線散射測量TSAXS系統表徵半導體裝置的尺寸及材料性質的方法及系統。本文中描述的所述方法及系統實現適合用於具有減小的光學路徑長度的半導體結構的計量的Q空間分辨率。一般來說，所述x射線光束針對相對小目標經聚焦更接近晶片表面且針對相對大目標經聚焦更接近檢測器。在一些實施例中，採用具有小點擴散函數PSF的高分辨率檢測器以緩解對可實現Q分辨率的檢測器PSF限制。在一些實施例中，所述檢測器通過確定由光子轉換事件刺激的電子雲的質心而以子像素準確度定位入射光子。在一些實施例中，除了入射位置之外，所述檢測器還分辨一或多個x射線光子能量。

本文源自：金融界

作者：情報員