PSK 申請基板處理裝置及電介質板更換方法專利，可調節電介質板安裝位置

金融界 2024 年 12 月 26 日消息，國家知識產權局信息顯示，PSK 有限公司申請一項名爲“基板處理裝置及電介質板更換方法”的專利，公開號 CN 119181629 A，申請日期爲 2024 年 2 月。

專利摘要顯示，本發明提供一種 基板處理裝置及電介質板更 換方法。處理基板的裝置可 以包括：殼體，具有處理空 間；卡盤，在處理空間支撐基 板；基座板，在處理空間內位 於上部；電介質板，在處理空 間與基板的上表面面對，並 可裝拆地提供在基座板；上 部邊緣電極，包圍電介質板； 下部邊緣電極，與上部邊緣 電極相向，包圍卡盤；電介質 板對齊夾具，當將電介質板 更換爲未使用的電介質板 時，將未使用的電介質板的安裝位置調節爲與電介質板的安裝 位置一致，電介質板對齊夾具包括：夾具主體，當從上方觀察 時，具有包圍電介質板的形狀；距離檢測構件，檢測夾具主體和 電介質板之間的距離，距離檢測構件沿着夾具主體的外圍方向 在彼此不同的位置設置有至少三個以上。

本文源自：金融界

作者：情報員