SK海力士針對DRAM生產線評估KCTech的超臨界流體清潔劑

《科創板日報》9日訊，SK海力士正在評估KCTech的超臨界流體清潔劑是否可用於其DRAM生產線。超臨界是指溫度和壓力高於其臨界點的狀態。超臨界狀態的流體具有介於液體和氣體之間的性質，可以輕鬆溶解晶圓上不需要的殘留物和污染物。SK海力士表示，KCTech預計將在年內通過評估，但由於在清潔器中使用超臨界流體是一項複雜的技術，因此可能需要更長的時間。 (THEELEC)