耀儒科技展翅高飛 銅科氣體廠動工

耀儒科技銅鑼廠開工動土典禮完成後，總經理賴昱銓（右四）和竹科管理局副局長陳淑珠（左四）等貴賓合影。圖／黃俊榮

爲因應半導體產業建立在地化供應鏈，臺灣本土電子級氣體、化學品供應商耀儒科技，去年11月獲得科技部覈准，進駐銅鑼科學園區工19用地，將興建高純度特殊氣體制造研發中心，第一期工程已於7月15日舉行開工動土典禮，預計2023年第4季完工生產。

耀儒科技成立於2020年，主要供應面板與半導體產業，符合綠色經濟鏈之氣體與化學品。這二年因新冠疫情與地緣政治風險，國內高科技業加速供應鏈在地化，尤其護國神山臺積電更是在多年前就已積極扶植在地供應商，不論是後段設備、原物料與零配件廠皆因此受惠。耀儒科技也在這股浪潮中，倚靠着特殊氣體合成、分餾純化之高階技術，以及專業團隊本着熱忱到場服務的迅速工作效率，獲得多家半導體廠肯定，成爲該產業鏈不可缺少的重要夥伴，成立短短二年，就已取得各大先進半導體公司之供應商資格。

該公司總經理賴昱銓表示，電子特種氣體是半導體生產不可或缺的關鍵原材料。這些氣體通過不同的製程使矽片具有半導體性能，如果某一個特定雜質超標，將導致質量嚴重缺陷，是名副其實的半導體之「血液」。其中，乙硼烷B2H6因其高度不穩定特性，容易引發裂解反應而形成高硼烷與其他副產物氣體，易產生不純物與雜質而影響良率，以往都是仰賴國外進口爲主。

但由於疫情衝擊，半導體廠倚賴國際生產的原物料皆受到嚴重的供貨影響，因此乙硼烷的在地生產化非常關鍵。賴總經理說，耀儒掌握特殊氣體關鍵研發生產技術，可依半導體大廠需求客製化各階段製程所需高良率及純度之氣體，是本土在地生產之重要供應商，目前已取得美光之認可，長期配合提供電子級氣體，另多家大廠已進入評估認證討論階段。

耀儒銅科廠佔地12,000平方米，未來將生產高純度乙硼烷，包括：10％、5％、1％B2H6等各項混合氣，以及高純度一氧化二氮N2O和二氯矽烷（DCS, SiH2Cl2）等特殊氣體，法人預估，量產後在特殊氣體市場將超過30％以上的佔有率。賴總經理說，耀儒掌握自主開發之製程參數，從氣體的生產、純化、收集、精餾到混配控制的精密控管流程，都是業界一流。能夠不到二年時間，就獲得半導體大廠肯定，主要歸功於優秀的技術團隊，我們每一位工程師皆是從高科技產業出身，對於製程中如何生產瞭如指掌，才能提供半導體大廠所需的電子級氣體。

除了電子級氣體，耀儒在回收化學品並回供至半導體廠領域，也有很大進展，現已跟大廠合作至品質驗證階段，達成既是供應者，也是方案解決的提供者。

賴總經理強調，銅科廠動土是耀儒科技一項重要里程碑，一路走來我們花了很多心血，員工人數從初期的十幾人，到現在已經約百人規模，能進駐高科技產業重要的生產基地，是耀儒這幾年來辛勤打拚的肯定，不論是特殊氣體、化學品或是綠色循環經濟，都在默默耕耘的階段，短期內會先在國內市場站穩腳步，但我們目標是成爲氣體與化學品供應鏈的佼佼者，再加上半導體制造已經開始走向「在地化」，在立足臺灣後，耀儒科技也將進軍國際，有信心能和全球一級大廠一爭高下。