第093章 光掩模製版

令餘子賢興奮的是,在蔡俊傑的研究資料裡面看見了光刻技術工序工藝中,與最重要工藝的電子束曝光系統對應的微米級掩模的製造。

聽着好像有點繞口、難懂,但是要說這種微米掩模技術的先進性,還得從掩模技術的發展說起。

芯片的生產流程圖簡單來說要經過IC設計、製版、芯片加工,封裝、測試包裝幾大環節,如果簡單地打個比方來說,如果比喻成一本書的印刷的話,就是:寫作、排版、印刷、裝訂、檢驗、打包。

而前面說的掩模對應書本印刷裡面的排版,只要排好版了,對着版面印刷,才能印出一本整齊漂亮的書。同理,在芯片加工之前,需要將設計好的芯片版圖進行製版,只有以此爲模板,進行芯片製造光刻,才能製造出裸晶,再這些裸晶中檢測挑選出好的,最後芯片進行封裝,纔算是一顆可用的芯片。

再往細了說,就是光刻工藝是芯片製造中最爲重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形複製到硅片上,爲下一步進行刻蝕或者離子注入工序做好準備。

在芯片製作過程的光刻工序,通常需要經過多次光刻工藝,在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。

而光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能精確套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版,簡稱光掩模版。

光掩製造技術是隨着平面工藝的誕生逐漸發展起來的。

在1963年共和國就已經研製成功了平面晶體管和硅數字集成電路。這時候就是沿用的傳統的照相術,首先在銅板紙上噴塗一層黑漆,然後用手術刀人工刻圖、截圖,採用大型照相機照相製成掩模板。

等到七十年到,共和國從曰本引進一批聚酯紅膜刻圖機和可在超微粒幹版上曝光的E線分步重複曝光機,纔算是擺脫人工進入了機械製造光掩模的能力;而八十年代,掩模技術設備再次更新換代,在建立滿足自身光學掩模生產所需的鉻板的同時,又利用中美蜜月期,引進了一批高精度光學制版設備,包括可變光闌式圖形發生器,還有與之配套的GCA公司的精縮機。此時共和國的掩模製版能力跨上了一個大臺階,也是光掩模技術製造業的鼎盛時期,最接近國際光掩模製造水平的高光時刻。

可喜隨着進入90年代,國際進入亞微米集成電路和亞微米加工技術的實際應用,共和國的光刻技術以及光掩模技術再次到了設備高興週期。

而此時,隨着國際政治環境的變化,共和國引進之門被巴統禁運徹底關上。

蔡俊傑正開發的掩模技術直接影響着掩膜版的質量,而光掩模版的質量優劣不僅僅直接影響着光刻工藝的質量,還影響着半導體器件或集成電路的電學性能、可靠性和芯片成品率。

不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上,就是因爲如此。

芯片成品率隨着掩模版的缺陷密度的增大而按負指數關係急劇下降。據推算,若要達到95%以上的成品率,掩模版的缺陷密度必須控制在每平方釐米0.175 個以下。如果缺陷密度增大到每平方釐米1.25個,則成品率因缺陷的直接影響會下降到65%以下。因此,根據佟若愚的說法,此時蔡俊傑的掩膜版技術應該是取得了突破。

而這個突破是餘子賢非常看重的,就憑這個技術,這個廠子收購下來都值了,餘子賢可不打算一直在3微米左右混。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。餘子賢希望在收購回來的1-2年來達到這個標準。

共和國此時打算上馬的908工程,因爲各種原因,可是到98年纔打到0.9微米的,國內其他合作項目也是在1995年才跨國1微米的門檻,進入到亞微米技術的。

只有領先纔有飯吃,縱使做不了全球技術領先,但是可以引領國內技術的發展,爲自己爭取更多的話語權,這有這樣,共和國電子工業纔有崛起的希望!才能避免像前世一樣,跟在別人後面一直在吃土!

想通這些之後,餘子賢又給蔣月華打電話,告訴已經打算收購蔡氏晶圓廠的決定,讓他那邊可以啓動盡職調查,還有貸款程序。

他得回內陸一趟,想想辦法看能不能搜刮些錢,他實在不想抽乾金拱門的流動資金啊,那都是本錢,會下崽的搖錢樹啊!魔方智慧是更沒有可能了,現在他的資金鍊剛持平,大計劃當前,更加不敢亂動!

之後,又和蔡老闆簽了個收購協議。

到此時,餘子賢才覺得自己可用的人手真是太少了,什麼事情都得自己跑!

他現在有了一絲期待,不知道蔣月華什麼時候從匯豐銀行正式離職,到時候怎麼都得想辦法挖過來,金融這一塊對方是專業,可以讓自己少操多少心!

這邊事情安排好之後,餘子賢和郝萌又返回了羊城,準備做飛機返回燕京。

可是當天的飛機直飛燕京的沒有了。兩三天之後倒是有,可是時間等不及啊!

今天已經是2月2號了,按照老爺子的計劃,在8號左右好像有一個燕京全市表彰大會,非要餘子賢去參加,說什麼有驚喜之類的。

這還有五六天了,先把自己的事情辦好,完了參加會議,春節前《看圖猜成語》遊戲又要上線,到時候自己也得參加,這都是一堆事情!

今天怎麼都得走,不然事太多,時間來不及!

沒辦法,兩人只好買了中轉廈門的機票。

郝萌這邊的事情也算是告一段落了,現在回去可以在家過一個春節了。

餘子賢有個不知道是好還是壞的習慣,每次坐火車或者做飛機的時候都要把自己排空放乾淨,不然總感覺在火車或者飛機上上廁所太麻煩不自在。

這次也不例外。餘子賢讓郝萌先上,他先在大廳上了個洗手間,等餘子賢登機的時候,前面的人已經登機一半有餘了。

排隊安檢,餘子賢前面正好一個拎着密碼箱的小夥子,看起來很煩躁的樣子,神態有些慌張。餘子賢沒有在意,以爲對方是不是身體有什麼不舒服的。

這個小夥子也就20餘歲,很年輕,身高1米7左右。一身西服,他一手拿着一束塑料制紅玫瑰,看起來是個有情調的有錢人。

不過大家都順利的通過安檢,兩人也依次順序登機。

餘子賢在登上飛機進入機艙門的剎那,突然一陣心悸,說不來的莫名煩躁,只當是等坐飛機的心底一絲恐懼,沒有在乎。

第059章 魔方小博士第222章 老爹的良苦用心第099章 大領導要來第171章 我是黑澀會第065章 開幕年終會感謝“Norikas”盟主(欲加更19章)第144章 選哪個好啊第091章 怪獸蔡博士第156章 四方的目標第192章 堵搶眼也得堵第151章 魔方的王炸第086章 難得的機會第122章 世界這麼大第118章 香積電誕生第167章 爲裝過的逼第149章 老段加盟了第195章 尋找赴蘇老人(爲“Norikas”盟主加更②)第062章 經典《拍手歌》第130章 針尖對麥芒第018章 不放也得放第076章 “狼”終於來了第205章 遲到的蔣月華第202章 大爺還是大爺(開擼求訂閱)第025章 引進的陷阱第058章 看圖猜成語第154章 回家的溫暖第042章 有點不對勁第203章 蘇聯人並不弱(開擼求訂閱)第050章 爲一口飽飯第120章 管理的隱憂第156章 四方的目標第043章 此事有蹊蹺重要的事情說三遍!第104章 被賊惦記了第037章 狗攬八泡屎第158章 液晶與茅臺第091章 怪獸蔡博士第059章 魔方小博士第187章 試投生產線(補欠)第012章 有人搞破壞第043章 此事有蹊蹺第116章 這是加強排第103章 還差兩百萬第141章 解體的可能第182章 緊張準備中第218章 金錢攻勢太兇猛第172章 裝逼需謹慎第167章 爲裝過的逼第079章 兩手都準備第201章 “戰鬥機”飛行員第166章 正真的迷妹第088章 禽獸or不如第055章 聯想的使命第142章 尼康或ASML第021章 獅子大張口第048章 忠魂依舊在第191章 珍貴的品質第162章 絕對的自信完了,我把我的書友毒死了第060章 試玩猜成語第133章 快刀斬亂麻第045章 銷售量喜人第020章 升官蠻不錯第053章 成立新魔方第209章 全力放開手腳第176章 灣島半導體第087章 爲籌錢而愁第118章 香積電誕生第057章 金拱門貿易第106章 戰爭啓示錄第138章 合作的資格第115 給了一個排第207章 解體當前,萬物有價第180章 ASML又來了第094章 誤入劫機場第044章 美女是誰啊第213章 狗血的現實劇本第024章 鋤頭舞得好第195章 尋找赴蘇老人(爲“Norikas”盟主加更②)第091章 怪獸蔡博士第082章 生旦淨末醜第017章 小鬼最難纏第075章 又又漲價了第121章第024章 鋤頭舞得好第010章 老爺子來電重要的事情說三遍!第203章 蘇聯人並不弱(開擼求訂閱)第066章 改革進行時第089章 各方面嘗試第119章 仿三興戰略第060章 試玩猜成語第179章 與ASML談判第089章 各方面嘗試第084章 捨不得放棄第168章 超級大驚喜第190章 再赴燕京城(補欠)第160章 嘴邊肉要飛第185章 ASML城門失火第201章 “戰鬥機”飛行員