ASML不賣沒在怕！陸首臺國產28奈米機臺快交貨 拚上市第一股？

陸半導體界傳出，上海微電子預估在今年底將交付首臺國產28奈米浸潤式光刻機。（示意圖/達志影像/shutterstock）

拜登政府10月公佈最新晶片禁令再收緊，艾司摩爾（ASML）自2024年元月起，將有三款DUV禁止出貨給中國，此舉反而刺激大陸成熟製程設備加速國產化。陸半導體界先前傳出，上海微電子預計在今（2023）年底將交付首臺國產28奈米浸潤式光刻機（曝光機、微影設備），如今又有消息稱，被視爲國產光刻機第一股的上海微電子計劃在A股掛牌，但輔導其上市的券商透露，目前仍存在主要問題及解決方案，看來上市進度不如預期。

芯智訊、證券日報報導，美國對先進晶片設備出口大陸祭出嚴苛限制，仍阻檔不了大陸國產光刻機持續發展。上海微電子是大陸唯一掌握設計、整合整機的製造商，也是大陸光刻機走向自主化的一個縮影，目前90奈米制程光刻機已可量產，傳出今年底將交付首臺國產28奈米浸潤式光刻機。

而去年底官方公佈華爲一項名爲「反射鏡、光刻裝置及其控制方法」的新專利，未來能在EUV光刻機核心技術上取得的突破性進展。另外，華中科技大學研製的OPC系統、哈爾濱工業大學研製的鐳射干涉系統等，也各自有所突破。將加快推進14 奈米、7奈米甚至更低節點的光刻機研發工作。

近日，中信建投揭露上海微電子首次公開發行股票並上市輔導工作進展報告，截至目前，上海微電子已經建立相對規範的公司治理結構和內部控制體系，與上市公司標準相比客觀上仍有一定差距，財務規範性仍需進一步完善。

中信建投指出，前期輔導工作中發現仍存在主要問題及解決方案，例如，輔導對象（指上海微電子）募款投資項目計劃及募款需求計算尚未規劃完成。

關於下一階段輔導工作，中信建投稱，針對輔導中的不規範之處及仍存在的問題，與公司及其他中介機構研究協商，確定下一階段的整改方案，並指導公司加以落實，並對落實情況進行密切追蹤檢查。

上海微電子第一大股東爲上海電氣控股集團，持股34.9099%；第二大股東爲上海科技創業投資有限公司，持股14.4434%。