曾參與創立光刻機巨頭ASML的人離世了

當地時間6月11日晚,荷蘭光刻機巨頭ASML(阿斯麥)在社交平臺X發文,悼念其創始人之一Wim Troost(維姆・特魯斯特)離世。另據《埃因霍溫日報》報道,Wim於上週五(6月8日)上午逝世,享年98歲。

ASML在領英上發佈的悼文表示,“我們的創始人之一Wim Troost去世了。在1987年至1990年期間,他擔任首席執行官,當時ASML正在努力爭取第一個客戶。退休後,Wim仍然是ASML和高科技產業的真正大使。他激勵了後世的許多人。我們感謝Wim爲ASML的DNA和強大的公司文化所做的貢獻,以及他的領導能力、毅力和遠見。我們向Wim的家人表示哀悼。”

Wim Troost於1925年在荷蘭海牙出生,他在ASML的創立、崛起與創新過程中都起到了舉足輕重的作用。

20世紀70年代末和80年代初,半導體制造技術的規模和複雜性的快速增長,推動了這一行業價值鏈的分工,專業設備供應商對於開發複雜的光刻系統變得尤爲重要。

正是在這種背景下,飛利浦開始開發自己的晶圓步進機,用於對硅晶圓進行圖案化。從1978年起,飛利浦科學與工業 (S&I) 部門以 PAS2000 (飛利浦自動晶圓步進機)的名義推動了商業化工作。

Wim正是飛利浦晶圓步進機的開發人員,也是在飛利浦管理團隊會議上唯一一個表示對光刻機有研究興趣的人。

但在龐大的飛利浦內部,PAS 2000只是一個小項目。面對資源匱乏、沒有訂單,甚至飛利浦自家晶圓廠都不買單的情況,飛利浦內部和荷蘭經濟部不止一次想要終止對光刻機項目的支持。時任S&I副主任的Wim一直堅持步進光刻機的研發,利用個人可自由支配的預算來維持着項目生命,並尋求飛利浦董事會和荷蘭政府的進一步支持。

Wim很快意識到,外部客戶的參與對於驗證技術是不可或缺的,拯救業務的唯一選擇,是與一家美國公司成立合資企業。這一計劃失敗後,飛利浦最終找到ASM International作爲合作伙伴,步進光刻機項目也因此得救了。

雖然飛利浦同意出資210萬美元成立ASML,但拒絕提供更多資金和辦公場地。成立之初,ASML只有31名員工,一起窩在飛利浦大廈外的簡易木板房裡辦公,並於1986年推出了第一臺PAS 2000光刻機。該設備標誌着ASML正式進入半導體制造設備領域,也奠定了公司未來發展的基礎。這一階段(1984到1988年間),ASML的首任CEO都是Gjalt Smit,Wim作爲監事董事通過飛利浦參與着ASML事務。

到了1988年,技術紅利期很快過去,激烈的市場競爭下,ASML再次搖搖欲墜。Wim也在那時開始擔任ASML首席執行官,成功帶領該公司度過危機。1990年退休之際,他與當時還是初創公司的中國臺灣晶圓代工企業臺積電達成了一項重要協議,ASML由此進入亞洲市場。

《光刻巨人:ASML崛起之路》一書中提到,“Wim Troost從廢料堆中拯救了晶圓步進機。在二戰後的幾十年裡,如果說有誰是飛利浦的代表人物,那非他莫屬。”

從ASML退休後,Wim繼續工作了很長一段時間,直到78歲才停止所有的工作。

到今天,誕生於荷蘭小鎮的ASML已成立了40年,這家公司目前幾乎壟斷了全球光刻機的市場份額,掌握着製造先進芯片的命脈。荷蘭也因ASML在全球半導體產業中擁有舉足輕重的地位。