阿斯麥ASML全新EUV光刻機將於2021年中期發貨

（原標題：獨家電報|ASML全新EUV光刻機將於2021年中期發貨）

《科創板日報》14日訊，《科創板日報》記者從ASML獲悉，其公佈了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，並改進機器匹配套準精度至1.1納米，並計劃於2021年的中期開始發貨。（記者 戚夜雲）