拚了！陸第3季半導體設備進口激增9成 光刻機增幅超6成

2023年第3季中國半導體設備進口額比上年同期增長了90%，其中增幅最大的是荷蘭ASML的光刻機。圖爲ASML生產的DUV光刻機。（圖／ASML）

即便美國加強了對輸出到中國的半導體設備管制，但中國實際上仍快速增加半導體制造設備的進口。據調查顯示，2023年7～9月中國半導體設備進口額比上年同期增長了90%，而從荷蘭（極大可能是ASML光刻機）進口數量成長達6.1倍。有可能是在美國爲營造和解氣氛而稍放寬管制，中國則趁空窗期加速進口技術較先進的半導體設備。

《日經中文網》指出，中國在美國政府加強制造設備出口管制的情況下，仍然取得令人矚目的7nm製程工藝最新成果。經過中國海關總署公佈的數據調查顯示，列爲「製造半導體器件或積體電路用的機器及裝置」項目進口金額在今年7~9月大幅增加，同比增長93%，達到634億元人民幣（約臺幣2700億元）。

報導說，若按國家來看，半導體設備進口增長最明顯的是荷蘭，同比達6.1倍；若以設備類別區分，增加最明顯的是光刻機項目，增幅達3.9倍。而光刻機項目雖然也有部份來自日本尼康與佳能，但最多的還是來自荷蘭艾斯摩（ASML），其光刻機進口額增長達6.2倍。

衆所周知，光刻機已成爲技術管制的對象，在美國要求下，去年10月起日本、荷蘭兩國也收緊了對中國等國家的出口管制。荷蘭自2023年9月1日起，對於最尖端技術光刻機的出口，必須由政府審查併發放許可證。

日本東海東京調查中心指出，光刻機從設備下單到交貨需要半年到1年的時間，有可能是中國廠商預測到無法從荷蘭採購設備的可能性，在尚無實際需求的情況下搶先下了訂單」。

報導說，ASML在2023年7～9月的營業收入中，中國所佔的比率達到46%，與2022年的14%相比呈現大幅上升。ASML在10月發佈的財報中指出，「面向中國的業務在遵守出口管制的同時，也正在供應面向成熟世代和中間世代(半導體)的光刻系統」。

報導認爲，半導體設備雖有管制，但仍然存在設備被轉用於尖端產品製造的可能性。大陸華爲公司8月上市的智慧手機搭載的半導體是屬於尖端產品的7nm，多家調查公司分析認爲是中國半導體龍頭企業中芯國際(SMIC)所生產。

美國戰略與國際研究中心（CSIS）在10月份的報告中分析稱，中芯國際的技術實力正在進步，充分利用老一代生產線上的設備，可以量產出尖端產品，「通過追加購買(非尖端)光刻機，中芯國際的7奈米產品的潛在生產能力有可能進一步提高」。

報導表示，中國從日本進口的設備也在增加，7～9月比上年同期增長了4成，除光刻機的進口額增加之外，用於基板表面形成的裝置也增加了2成。來自美國的進口額僅增長2成。

業界團體SEMI統計顯示，中國在世界半導體設備營業收入中所佔的比率在4～6月爲29%，仍居世界第一。目前習拜會開始營造中美關係的寬鬆氣氛，美國的半導體技術與設備管制可能會有所放寬，這對全球的半導體設備需求與供應鏈通暢而言，都具有正面的意義。