SiC產值衝 歐美IDM廠獨佔鰲頭

2021年SiC基板市佔率

2021年SiC功率半導體市佔率

圖／本報資料照片

縱觀全球SiC（碳化矽）產業發展，TrendForce表示，歐美IDM大廠已佔據絕對領先地位，其中美國更在基板材料環節佔據過半市佔率。爲確保長期穩定的SiC業務發展，各大廠商同時陸續切入上游關鍵基板材料，試圖完全掌握供應鏈，因此垂直整合已成爲目前SiC產業發展的重要趨勢之一。據TrendForce預測，2022年全球SiC功率半導體產值約15.89億美元，至2026年可達到53.02億美元，CAGR達35％。

據TrendForce研究顯示，SiC基板生長條件困難、工藝難度大、技術門檻高，已成爲下游產能的關鍵制約點，目前只有Wolfspeed、ROHM、ON Semi與STM等少數廠商具備SiC晶體自主生產能力。Wolfspeed做爲全球最大SiC基板廠，於SiC基板和結晶方面的專利實力遙遙領先，其於2021年全球SiC基板市佔率高達62％，而Wolfspeed已與Infineon、STM、ON Semi等廠商簽訂價值超13億美元的原材料長期供應協議。

STM在2019年以近1.375億美元完成對瑞典SiC基板製造商Norstel AB的收購，STM雖借其持續生產6吋SiC基板和外延片，但這筆交易顯然針對的是8吋基板之研發與生產。目前STM的SiC基板90％以上來自外部採購，供應商包括Wolfspeed和ROHM旗下SiCrystal；此外，STM希望於2024年將有40％供應來自內部生產。

ON Semi爲了更好確保和增加SiC基板的供應，2021年以4.15億美元收購美國GT Advanced Technologies，該廠商曾於2019年推出CrystX SiC材料，隨後便與環球晶、ON Semi和Infineon達成長期供應協定。ON Semi打算擴大和加速GT Advanced Technologies的SiC材料開發，其中包括推進6吋和8吋SiC晶體生長技術，同時還投資更廣泛的SiC供應鏈，包括Fab產能和封裝，以向客戶保證關鍵元件的供應，進一步商用化智慧電源技術。

日商ROHM同樣透過收購方式在2009年獲取彼時歐洲最大SiC基板廠商SiCrystal相關技術，目前其在全球SiC基板市場佔據第三名。2022年SiCrystal的SiC基板產能已幾乎售罄，主要客戶爲母公司ROHM、Infineon、STM等。

Infineon雖不具備SiC單晶生長能力，不得不與Wolfspeed、GT Advanced Technologies與Showa Denko簽訂材料長期供應協議，但其亦透過收購Siltectra涉足SiC晶錠切割領域。根據TrendForce瞭解，Siltectra獨有的冷切割（Cold Spilt）技術是一種高效晶體材料加工工藝，可將SiC基板產能提升3倍以上，同時每片基板損失低至80μm，且基板減薄僅需幾分鐘，可節省90％材料。目前冷切割技術正在Siltectra德國工廠和Infineon奧地利工廠實現工業化。