業界稱三星電子正研發取代碳化硅聚焦環的新材料 碳化硼成有力備選方案

14:26 【業界稱三星電子正研發取代碳化硅聚焦環的新材料 碳化硼成有力備選方案】財聯社3月2日電，三星電子正在研發取代碳化硅(SiC)聚焦環(Focus Ring)的新材料。業界消息指出，硬度表現優秀的碳化硼(B4C)成爲三星有力備選方案。三星爲將B4C打造成新一代聚焦環材料，正在進行相關研發。聚焦環在半導體產業中，主要用於硅片蝕刻工藝，除了能固定硅片之外，也有維持電漿體密度、防止硅片遭污染等功用。 (DIGITIMES)