元智大學 加速半導體制程綠色化

元智大學機械系鍾國濱教授（左）率領團隊規劃先進質子交換膜水電解技術，獲科研創業萌芽補助590萬，加速半導體綠色化與發展。圖／元智大學提供

元智大學機械系鍾國濱教授團隊規劃「先進質子交換膜水電解技術」製造低碳臭氧水系統，創新技術應用於晶圓清潔製程，可取代高碳臭氧與降低溼式法化學藥劑使用，實踐半導體制程綠色化，獲得國科會科研創業計劃萌芽案肯定，成爲在衆多生醫題材中，唯一與半導體產業接軌的科研創業計劃。

鍾國濱教授團隊發展先進質子交換膜水電解技術，將純水以低電壓制取臭氧，具備低能耗與製程簡單優勢，他表示半導體晶圓製造過程中如蝕刻、沉積、去光阻等，皆對晶圓表面造成污染，進而會影響晶圓品質，目前業界解決成熟晶圓製程表面污染使用之清潔製程爲溼式法，透過使用硫酸、氫氟酸等化學藥劑處理晶圓表面污染，再使用大量去離子水洗滌，以避免殘留問題，然而此清潔製程將導致大量水資源使用與化學藥劑污染環境與傷害人體之問題。

鍾國濱指出，國科會科研創業計劃以開發低碳高濃度臭氧水模組爲目標，初期提供晶圓清洗設備商整合與內部測試驗證，中長期生產低碳高濃度臭氧水與運用於晶圓製程的綠色清潔，取代現有日本與德國的設備進口，實踐半導體周邊設備自主開發與維修即時。

元智大學創新創業中心盤點校內具備新創能量之團隊，協助產官學研跨領域與資源連結，提供橋接與輔導，中心主任曾詠青教授在計劃申請過程，以其創業經驗和策略觀點，協助理工與商業領域之間的銜接與轉譯，亦協助鍾國濱教授團隊成功獲得國科會科研創業計劃萌芽案補助。