隋唐的監察體系，跟前代略有不同。在原來負責監察中央和地方官的兩套機構之上，又設置了一個總領協調的機構，形成了三套班底。東漢以來，原來御史臺的負責人御史大夫轉爲司空，御史中丞變成了御史臺真正的主持者。進入隋朝之後，將御史中丞改爲御史大夫，主持御史臺，另置治書侍御史2人爲副。唐朝則改治書侍御史爲御史中丞，恢復了西漢體制。
御史臺下設三院，一爲殿院，設殿中侍御史，隋朝12人，唐朝設9人，官階從七品下，負責上朝禮儀糾察和京師城內的巡查。二爲察院，設監察御史，隋制12人，唐制15人，官階正八品上。負責監察百官和分巡地方。監察御史以入院先後排座次，以先人者爲尊，其各自的任務也有區別，資格最老的三人負責監察各部。每人分兩個部，其餘的分巡地方，資格最淺的，巡查的地方最遠、最苦。
資格老的監察御史相當威風。京兆人高麗，是爲御史臺送公文的差役，御史臺令史僞造文書詐騙，事情敗露，令史逃跑。御史張孝嵩抓高麗頂罪，嚴刑逼供，使高麗兩腳殘廢，鍛成死罪。大理寺抗命，認爲依法人已殘廢不應再加刑（處死），御史大怒，說，兩隻腳廢了也不耽誤他造僞！於是令兩人夾着高麗赴街市，殺掉了。（張鶩：《朝野僉載》卷2）
在殿院和察院之上，設置臺院，內設侍御史，隋制8人，唐制6人，官階從六品下，負責總理御史臺的一切事務。其中，以年資最老的侍御史一人，擔任知雜侍御史，負責挑選和考評御史和處理雜務。其次設知公廨侍御史一人，負責日常事務。再次設知彈糾侍御史一人，負責協調對官員的彈劾事宜。最後另設知推侍御史2人，分別負責“東推”和“西推”，東推掌管糾察京師百官的違法失職案件，西推掌管地方州縣的官員違法失職案件。殿院的殿中侍御史和察院的監察御史，按例要協助東西推工作。
唐大中十二年正月，含元殿大朝會，太子少師柳公權八十高齡，爲百官班首，上朝朝賀。然而待儀式行半，已經疲勞不堪，及輪到給皇帝上尊號“聖敬文思和武光孝皇帝”時，把“和武光孝”念成“光武和孝”，結果當場遭到御史的彈劾，被罰俸一季。（王讜：《唐語林校證》卷4）侍御史的主要工作，就是監督百官上朝時的禮儀行止。
武則天時，張衡令史出身，位至四品，快要升三品了。一次退朝，路旁見蒸餅新熟，饞人之極，便買了一個，在馬上吃了。因此遭到御史彈劾，說他行爲不像大臣。結果武則天下令，不許他再升三品。（張鶯：《朝野僉載》卷4）
此外2，唐朝分設東西兩都。在不常駐的東都洛陽，按規矩要留一個御史中丞和侍御史，留守機構人稱“留臺”。
除御史臺之外，由於尚書省長官已經變成宰相，而下屬的六部又逐漸成爲行政執行的基本部門，功能漸次獨立，所以，尚書省的副長官尚書左右丞，無事可管，就演變成了另類的監察官員。他們不僅負有監察百官之責，而且還可以彈糾不稱職的御史。
隋唐地方區劃比較小，中央政府對地方的控制存在問題，因此，特別注意對地方官的監察。朝廷往往設置專門的監察機關和人員，加強對地方的監督。隋朝有專門的司隸、謁者兩臺，設刺史巡查地方。唐朝則定期派出觀風俗使、巡察使、按察使、採訪使等官員，與監察御史一道，擔負巡查地方的責任。後來，原設的各使大多演變成實體性地方官，於是，朝廷利用鹽鐵轉運使來承擔監察任務。
唐朝的門下省長官被列爲宰相，但門下省官員卻依然擔負着諫議的責任。門下省的左右散騎常侍、左右諫議大夫都相當活躍，經常給皇帝提意見，對宰相的政務處理髮表不同意見，甚至干涉朝廷大員的任用。唐朝還設有前代所沒有的諫議官員，即左右拾遺、左右補闕，左隸屬門下省，右則隸屬中書省。
陽城爲諫議大夫，唐德宗想用裴延齡爲相，結果被陽城得知，誓死反對，最後德宗居然改了主意。（王讜：《唐語林校證》卷3）
唐朝是中國歷史上少有的盛世，中前期政治比較開明，因此監察體系作用發揮得比較好。御史和諫官不僅彈劾違法官員，而且經常給皇帝提意見。這使得皇帝們時常要爲之改變自己的做事習慣，百官的行爲也有所收斂。唐朝的監察官員經常在朝堂之上，在百官聚會的朝會上當衆宣讀彈章，令被彈劾者十分難堪。
唐高宗顯慶元年，侍御史王義方在朝會之上，當衆彈劾中書侍郎李義府逼殺大理寺官員。彈章念畢，他大聲呵斥李義府退出行列，李義府自恃官高爵重，姑望不肯退。王義方再三呵斥，李一直看着皇帝，可皇帝一句話也不說，李不得已退下。（《唐會要》卷61）
到了唐朝晚期，檢察系統的作用大打折扣，御史自身貪瀆，玩忽職守，諫議無人聽從，整個官僚機器趨於鏽蝕，王朝也就壽終正寢了。
洛州司僉嚴升期攝侍御史，於江南巡查。此公喜歡吃牛肉，所至州縣，人家都要爲他宰牛漉酒。事無大小，只要給他金子，就大事化小，小事化了。所到之處，金價爲之上漲，人稱“金牛御史”。（張鷟：《朝野僉載》卷3）