長沙韶光芯材申請光掩模版清洗後缺陷檢測分類專利，實現更高精度、更高效率的缺陷檢測

金融界2024年12月25日消息，國家知識產權局信息顯示，長沙韶光芯材科技有限公司申請一項名爲“一種光掩模版清洗後的缺陷檢測分類方法和系統”的專利，公開號CN 119169011 A，申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種光掩模版清洗後的缺陷檢測分類方法和系統，包括：S1：多波長的光源照射光掩模版；S2：對多波長拍攝的標註樣本圖像進行預處理；S3：獲取已標註好缺陷類別的光掩模版圖像樣本訓練Defect‑CNN算法；S4：採用訓練後的Defect‑CNN模型對待分類的光掩模圖像進行缺陷檢測和分類，並生成檢測報告；通過多波段圖像融合與智能化的缺陷分類，實現了更高精度、更高效率的缺陷檢測。

本文源自：金融界

作者：情報員