產經連線-科毅技術創新 攻半導體前端製程

科毅科技董事長林憲維說,疫情趨緩,國際恢復商業貿易活動後,將進軍中國及東南亞市場。圖╱江富滿

科毅科技瞄準市場主流需求3~10微米(um)中高階後段封裝,包括Micro LED、PCB、MEMS及被動元件等產業需求,致力研發「無掩膜雷射直寫曝光機」,並將申請政府科專計劃,成爲次世代明星商品。

無掩膜雷射直寫曝光機(Mask less UV Laser Maskless Lithography)系統是利用聚焦電子束對有機聚合物進行曝光,受電子束輻照區域的光刻膠之化學性質會產生變化,形成固化或非固化區域,因而能在抗蝕劑上形成精細圖形。科毅科技表示,無掩膜雷射直寫曝光機具備能進行動態掃描,速度穩定性高,再加上位置觸發功能和低延遲,於微米制程提供智慧光刻功能,並減少光罩之使用,降低生產成本,更適用在少量多樣的產業等優勢。

除上述研發商品外,科毅科技亦持續改進另一項明星商品:風刀式奈米級光罩除塵機(MCS),能更有效及全面性提高晶圓曝片之除塵率,已深獲多家國際知名半導體公司、晶圓代工大廠青睞。

科毅科技產品涵蓋半導體晶片前端製程七大設備,包括曝光機、蝕刻機、鍍膜設備、量測機、清洗機、離子機以及其他設備等,曝光機主要作用爲將掩膜版上的晶片電路轉移到矽片,是IC製造的最高環節,科毅科技黃光設備產品主要客戶遍及國內上市櫃大廠,包括日月光、聯穎光電、友達光電、羣創光電、中強光電、崇浩光電、臺灣晶技、臺灣光罩、臺灣生捷、奇美電子/實業及中研院、工研院、臺大、清華、陽明交通…等學術研究機構,市佔率逐步上升。

科毅科技另掌握世界知名品牌二手曝光機來源,因交易金額較高,已尋得實力堅強之合作伙伴協助,正積極洽詢國內外需求客戶,預期將能產生高額收益。

在疫情趨緩,國際貿易恢復正常商業活動後,科毅科技將進軍中國及東南亞市場,持續擴大市場佔有率,並積極規畫朝向資本市場邁進。