找來蔣爸真能有EUV機臺？ 中芯與ASML籤12億美元大單

中芯國際公告，與ASML簽下12億美元的訂單。(圖/達志影像)

陸晶圓代工龍頭中芯國際近期被傳出獲得美方許可，可以供貨成熟製程的半導體生產設備，雖然14奈米以下製程發展依然困難重重，但至少能讓8吋晶圓產能恢復正常運作，預料全球晶片荒可以獲得些許舒緩。中芯國際週三(3日)晚間公告，與獨家供應極紫外光(EUV)曝光設備的荷商艾司摩爾(ASML)簽下12億美元(約338億元新臺幣)合約，讓外界議論紛紛。

中芯國際公告，在2020年3月16日至2021年3月2日期間，與ASML簽訂批量採購協議，購買約12億美元半導體生產設備。由於與ASML的採購協議已經到期，該公司在今年2月1日重新簽訂契約，將原定於2018年1月1日至2020年12月31日期間，延長至2021年12月31日。

面對市場傳聞美方禁令鬆綁，中芯國際迴應，將攜手全球產業鏈夥伴，保證該公司生產連續性及擴產規劃不受影響。中芯國際表示，不確定性依然存在，該公司始終堅持依法合規經營，有信心保證公司短期內生產經營不受重大不利影響。

據陸媒報導，資深業界人士透露，除了EUV機臺，中芯國際幾乎取得可以拿到的所有型號曝光機，包括臺積電在生產第一代7奈米制程(N7)使用的深紫外光(DUV)曝光機，透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。

早在去年下半年，ASML在上海國際進口博覽會展出號稱能用於7奈米制程的DUV機臺，業界人士指出，DUV機臺透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線距，但要做到與EUV的13.5奈米波長等效，也就是達到臺積電7奈米制程的良率與成本，恐怕還有一大段距離，但這已經是面對美國禁令下可以採取的手段。

中芯國際曾在2018年5月向ASML訂購價值1.2億美元EUV機臺，卻因瓦聖納協定（Wassenaar Arrangement）以及美國政府在背後施壓，導致無法履行該合約。由於EUV機臺是發展先近製程的重要關鍵，臺積電、三星電子等晶圓代工領導廠商無不與ASML保持良好業務關係，甚至在生產記憶體包括SK海力士，也積極向ASML訂貨。

爲了EUV機臺，中芯國際去年底找回臺積電前營運長蔣尚義擔任副董事長，卻一度引發中芯國際首席聯合執行長梁孟鬆不滿，揚言請辭，讓中芯國際高層大地震，最後在董座周子學等高層極力挽留，最後2人並列董事會成員，讓該公司在先進製程以及成熟製程研發上雙軌並行。

目前中芯國際在8吋晶圓、12吋晶圓都近行擴產，加上北京當局祭出10年28奈米制程以下免稅計劃，明顯是爲了扶持大陸半導體自主化進程。雖然從目前資訊來看，中芯國際還難以確認是否可以拿到EUV機臺，但至少較去年遭美方追殺的困境來看，中芯國際已經找到新出路，並趕緊吃下目前全球晶片荒的商機。